薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)簡介

kSA MOS Ultra Scan采用非接觸 MOS（多光束光學(xué)傳感） 激光技術(shù)；不但可以對薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行測量，還可對二維應(yīng)力 Mapping成像統(tǒng)計分析；同時測量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系。

基于kSA MOS 技術(shù)，kSA MOS Ultra Scan使用二維激光陣列掃描繪制半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡面、玻璃、透鏡等各種拋光表面的二維曲率、翹曲度和薄膜應(yīng)力分布圖。kSA MOS Ultra Scan適用于室溫條件下測量需求，實現(xiàn)晶元全自動2D掃描測量，同時獲得3D圖。

1.14位單色CCD檢測系統(tǒng)：分辨率 3296 x 2472 pixels (8MP), 5.5μm pixel size，有效感光面積18.13mm x 13.6mm，曝光時間可控范圍10us to 26.8；

2.激光和光學(xué)系統(tǒng)：激光波長660nm(可定制其他波長激光器)，激光功率70mW，恒電流運行模式，穩(wěn)定性≤2%（8小時）；帶溫控的激光控制器（出廠設(shè)定溫度25°C），溫度穩(wěn)定性<0.2°C；

3.自動光學(xué)追蹤系統(tǒng)：當(dāng)進(jìn)行樣品測試時，用來追蹤伺服系統(tǒng)而檢測來自樣品表面反射光；

4.XY方向線性掃描樣品臺：掃描范圍300*300mm；分辨率1um；掃描速度可達(dá)20mm/sec.，軟件控制；

5.計算機(jī)、MOS數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)控制電路板：Windows 操作系統(tǒng)；

6.測量分析軟件：數(shù)據(jù)采集，系統(tǒng)控制，自動激光光點檢測，自動曝光時間檢測（避免由于材料表面反射率的強(qiáng)烈變化而引起檢測器過載現(xiàn)象），曲率、曲率半徑、應(yīng)力強(qiáng)度、應(yīng)力、翹曲數(shù)據(jù)采集和圖像顯示，您可以選擇陣列任意數(shù)量激光點進(jìn)行測試，分析功能：有線剖面分析、統(tǒng)計分析、等高線圖分析等，便捷的2D和3D圖像顯示和調(diào)整功能，數(shù)據(jù)ASCII輸出；

光學(xué)薄膜應(yīng)力分布圖

表面Patterned試樣應(yīng)力分布圖

樣品翹曲測量結(jié)果